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　　氣體傳感器,是指利用各種化學(xué)、物理效應(yīng)將氣體成分、濃度按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成電信號輸出的器件。隨著社會的發(fā)展和科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步,氣體傳感器的開發(fā)研究越來越引起人們的重視,各種氣體傳感器應(yīng)運(yùn)而生。綜合氣體傳感器的應(yīng)用情況,主要有以下幾種用途：
　　有毒和可燃性氣體檢測
　　有毒和可燃性氣體檢測是氣敏傳感器最大的市場。主要應(yīng)用于石油、采礦、半導(dǎo)體工業(yè)等工礦企業(yè)以及家庭中環(huán)境檢測和控制。在石油、石化、采礦工業(yè)中,硫化氫、一氧化碳、氯氣、甲烷和可燃的碳?xì)浠�合物是主要檢測氣體。在半導(dǎo)體工業(yè)中最主要是檢測磷、砷和硅烷。家庭中主要是檢測煤氣和液化氣的泄漏以及是否通風(fēng)。
　　燃燒控制
　　汽車工業(yè)是氣體傳感器又一重要市場。采用氧傳感器檢測和控制發(fā)動機(jī)的空燃比,使燃燒過程最佳化。在大型工業(yè)鍋爐燃燒過程中采用帶有氣體傳感器的控制以提高燃燒效率減少廢氣排出,節(jié)省能源。氣體傳感器還可以用來檢測汽車或煙囪中排出的廢氣量。這些廢氣包括二氧化碳、二氧化硫和一氧化碳。
　　食品和飲料加工
　　在食品和飲料加工過程中,二氧化硫傳感器是極有用的器件。二氧化硫常用于許多食品和飲料的保存和檢測,使之含有保持特定的味道和香味所需最小的二氧化硫濃度。另外,氣體傳感器還被用來檢測葡萄酒、啤酒、高梁酒的發(fā)酵程度以保證產(chǎn)品均勻性和降低成本。
　　醫(yī)療診斷
　　可用氣體傳感器進(jìn)行病人狀況診斷測試,如口臭檢測,血液中二氧化碳和氧濃度檢測等。
　　表1例舉了氣體傳感器的主要檢測氣體和應(yīng)用場合。
　　氣體傳感器的品種繁多,限于篇幅,不可能一一敘述。本篇主要介紹應(yīng)用較為廣泛,國內(nèi)又有一定生產(chǎn)能力的氣體傳感器,它們是半導(dǎo)體氣體傳感器、電化學(xué)氣體傳感器、接觸式氣體傳感器和熱傳導(dǎo)式氣體傳感器。有關(guān)光學(xué)類等其它氣體傳感器,請讀者參閱其他有關(guān)書籍。

　　1、穩(wěn)定性
　　穩(wěn)定性是指傳感器在整個工作時間內(nèi)基本響應(yīng)的穩(wěn)定性,取決于零點(diǎn)漂移和區(qū)間漂移。零點(diǎn)漂移是指在沒有目標(biāo)氣體時,整個工作時間內(nèi)傳感器輸出響應(yīng)的變化。區(qū)間漂移是指傳感器連續(xù)置于目標(biāo)氣體中的輸出響應(yīng)變化,表現(xiàn)為傳感器輸出信號在工作時間內(nèi)的降低。理想情況下,一個傳感器在連續(xù)工作條件下,每年零點(diǎn)漂移小于10[%]。
　　2、靈敏度
　　靈敏度是指傳感器輸出變化量與被測輸入變化量之比,主要依賴于傳感器結(jié)構(gòu)所使用的技術(shù)。大多數(shù)氣體傳感器的設(shè)計(jì)原理都采用生物化學(xué)、電化學(xué)、物理和光學(xué)。首先要考慮的是選擇一種敏感技術(shù),它對目標(biāo)氣體的閥限制(TLV-thresh-old limit value)或最低爆炸限(LEL-lower explosive limit)的百分比的檢測要有足夠的靈敏性。
　　3、選擇性
　　選擇性也被稱為交叉靈敏度�？梢酝ㄟ^測量由某一種濃度的干擾氣體所產(chǎn)生的傳感器響應(yīng)來確定。這個響應(yīng)等價于一定濃度的目標(biāo)氣體所產(chǎn)生的傳感器響應(yīng)。這種特性在追蹤多種氣體的應(yīng)用中是非常重要的,因?yàn)榻徊骒`敏度會降低測量的重復(fù)性和可靠性,理想傳感器應(yīng)具有高靈敏度和高選擇性。
　　4、抗腐蝕性
　　抗腐蝕性是指傳感器暴露于高體積分?jǐn)?shù)目標(biāo)氣體中的能力。在氣體大量泄漏時,探頭應(yīng)能夠承受期望氣體體積分?jǐn)?shù)10~20倍。在返回正常工作條件下,傳感器漂移和零點(diǎn)校正值應(yīng)盡可能小。
　　氣體傳感器的基本特征,即靈敏度、選擇性以及穩(wěn)定性等,主要通過材料的選擇來確定。選擇適當(dāng)?shù)牟牧虾烷_發(fā)新材料,使氣體傳感器的敏感特性達(dá)到最優(yōu)。

　　通常以氣敏特性來分類,主要可分為：半導(dǎo)體型氣體傳感器、電化學(xué)型氣體傳感器、固體電解質(zhì)氣體傳感器、接觸燃燒式氣體傳感器、光化學(xué)型氣體傳感器、高分子氣體傳感器等。
　　1、半導(dǎo)體氣體傳感器
　　半導(dǎo)體氣體傳感器是采用金屬氧化物或金屬半導(dǎo)體氧化物材料做成的元件,與氣體相互作用時產(chǎn)生表面吸附或反應(yīng),引起以載流子運(yùn)動為特征的電導(dǎo)率或伏安特性或表面電位變化。這些都是由材料的半導(dǎo)體性質(zhì)決定的。
　　自從1962年半導(dǎo)體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問世以來.半導(dǎo)體氣體傳感器已經(jīng)成為當(dāng)前應(yīng)用最普遍、最具有實(shí)用價值的一類氣體傳感器,根據(jù)其氣敏機(jī)制可以分為電阻式和非電阻式兩種。
　　電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器主要是指半導(dǎo)體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器,是一種用金屬氧化物薄膜(例如：Sn02,ZnO Fe203,Ti02等)制成的阻抗器件,其電阻隨著氣體含量不同而變化。氣味分子在薄膜表面進(jìn)行還原反應(yīng)以引起傳感器傳導(dǎo)率的變化。為了消除氣味分子還必須發(fā)生一次氧化反應(yīng)。傳感器內(nèi)的加熱器有助于氧化反應(yīng)進(jìn)程。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應(yīng)速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優(yōu)點(diǎn)。不足之處是必須工作于高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數(shù)分散、穩(wěn)定性不夠理想、功率要求高.當(dāng)探測氣體中混有硫化物時,容易中毒�，F(xiàn)在除了傳統(tǒng)的SnO,Sn02和Fe203三大類外,又研究開發(fā)了一批新型材料,包括單一金屬氧化物材料、復(fù)合金屬氧化物材料以及混合金屬氧化物材料。這些新型材料的研究和開發(fā),大大提高了氣體傳感器的特性和應(yīng)用范圍。另外,通過在半導(dǎo)體內(nèi)添加Pt,Pd,Ir等貴金屬能有效地提高元件的靈敏度和響應(yīng)時間。它能降低被測氣體的化學(xué)吸附的活化能,因而可以提高其靈敏度和加快反應(yīng)速度。催化劑不同,導(dǎo)致有利于不同的吸附試樣,從而具有選擇性。例如各種貴金屬對Sn02基半導(dǎo)體氣敏材料摻雜,Pt,Pd,Au提高對CH4的靈敏度,Ir降低對CH4的靈敏度；Pt,Au提高對H2的靈敏度,而Pd降低對H2的靈敏度。利用薄膜技術(shù)、超粒子薄膜技術(shù)制造的金屬氧化物氣體傳感器具有靈敏度高(可達(dá)10-9級)、一致性好、小型化、易集成等特點(diǎn)。
　　非電阻式半導(dǎo)體氣體傳感器是MOS二極管式和結(jié)型二極管式以及場效應(yīng)管式(MOSFET)半導(dǎo)體氣體傳感器。其電流或電壓隨著氣體含量而變化,主要檢測氫和硅燒氣等可燃性氣體。其中,MOSFET氣體傳感器工作原理是揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)與催化金屬(如鈕)接觸發(fā)生反應(yīng),反應(yīng)產(chǎn)物擴(kuò)散到MOSFET的柵極,改變了器件的性能。通過分析器件性能的變化而識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚可優(yōu)化靈敏度和選擇性,并可改變工作溫度。MOSFET氣體傳感器靈敏度高,但制作工藝比較復(fù)雜,成本高。
　　2、電化學(xué)型氣體傳感器
　　電化學(xué)型氣體傳感器可分為原電池式、可控電位電解式、電量式和離子電極式四種類型。原電池式氣體傳感器通過檢測電流來檢測氣體的體積分?jǐn)?shù),市售的檢測缺氧的儀器幾乎都配有這種傳感器,近年來,又開 發(fā)了檢測酸性氣體和毒性氣體的原電池式傳感器�？煽仉娢浑娊馐絺鞲衅魇峭ㄟ^測量電解時流過的電流來檢測氣體的體積分?jǐn)?shù),和原電池式不同的是,需要由外界施加特定電壓,除了能檢測CO,NO,N02,02,S02等氣體外,還能檢測血液中的氧體積分?jǐn)?shù)。電量式氣體傳感器是通過被測氣體與電解質(zhì)反應(yīng)產(chǎn)生的電流來檢測氣體的體積分?jǐn)?shù)。離子電極式氣體傳感器出現(xiàn)得較早,通過測量離子極化電流來檢測氣體的體積分?jǐn)?shù)已電化學(xué)式氣體傳感器主要的優(yōu)點(diǎn)是檢測氣體的靈敏度高、選擇性好。
　　3、固體電解質(zhì)氣體傳感器
　　固體電解質(zhì)氣體傳感器是一種以離子導(dǎo)體為電解質(zhì)的化學(xué)電池。20世紀(jì)70年代開始,固體電解質(zhì)氣體傳感器由于電導(dǎo)率高、靈敏度和選擇性好,獲得了迅速的發(fā)展,現(xiàn)在幾乎應(yīng)用于環(huán)保、節(jié)能、礦業(yè)、汽車工業(yè)等各個領(lǐng)域,其產(chǎn)量大、應(yīng)用廣,僅次于金屬氧化物半導(dǎo)體氣體傳感器。近來國外有些學(xué)者把固體電解質(zhì)氣體傳感器分為下列三類：
　�。�1）材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質(zhì)中的移動離子相同的傳感器,例如氧氣傳感器等。
　�。�2）材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質(zhì)中的移動離子不相同的傳感器,例如用于測量氧氣的由固體電解質(zhì)SrF2H和Pt電極組成的氣體傳感器。
　�。�3）材料中吸附待測氣體派生的離子與電解質(zhì)中的移動離子以及材料中的固定離子都不相同的傳感器,例如新開發(fā)高質(zhì)量的C02固體電解質(zhì)氣體傳感器是由固體電解質(zhì)NASICON(Na3Zr2Si2P012)和輔助電極材料Na2CO3-BaC03或Li2C03-CaC03,Li2C03- BaC03組成的。
　　目前新近開發(fā)的高質(zhì)量固體電解質(zhì)傳感器絕大多數(shù)屬于第三類。又如：用于測量N02的由固體電解質(zhì)NaSiCON和輔助電極N02- Li2C03制成的傳感器；用于測量H2S的由固體電解質(zhì)YST-Au-W03制成的傳感器；用于測量NH3的由固體電解質(zhì)NH4-Ca203制成的傳感器；用于測量N02的由固體電解質(zhì)Ag0.4Na7.6和電極Ag-Au制成的傳感器等。
　　4、接觸燃燒式氣體傳感器
　　接觸燃燒式氣體傳感器可分為直接接觸燃燒式和催化接觸燃燒式,其工作原理是氣敏材料(如Pt電熱絲等)在通電狀態(tài)下,可燃性氣體氧化燃燒或者在催化劑作用下氧化燃燒,電熱絲由于燃燒而生溫,從而使其電阻值發(fā)生變化。這種傳感器對不燃燒氣體不敏感,例如在鉛絲上涂敷活性催化劑Rh和Pd等制成的傳感器,具有廣譜特性,即能檢測各種可燃?xì)怏w。這種傳感器有時稱之為熱導(dǎo)性傳感器,普遍適用于石油化工廠、造船廠、礦井隧道和浴室廚房的可燃性氣體的監(jiān)測和報(bào)警。該傳感器在環(huán)境溫度下非常穩(wěn)定,并能對處于爆炸下限的絕大多數(shù)可燃性氣體進(jìn)行檢測。
　　5、光學(xué)式氣體傳感器
　　光學(xué)式氣體傳感器包括紅外吸收型、光譜吸收型、熒光型、光纖化學(xué)材料型等,主要以紅外吸收型氣體分析儀為主,由于不同氣體的紅外吸收峰不同,通過測量和分析紅外吸收峰來檢測氣體。目前的最新動向是研制開發(fā)了流體切換式、流程直接測定式和傅里葉變換式在線紅外分析儀。該傳感器具有高抗振能力和抗污染能力,與計(jì)算機(jī)相結(jié)合,能連續(xù)測試分析氣體,具有自動校正、自動運(yùn)行的功能。光學(xué)式氣體傳感器還包括化學(xué)發(fā)光式、光纖熒光式和光纖波導(dǎo)式,其主要優(yōu)點(diǎn)是靈敏度高、可靠性好。
　　光纖氣敏傳感器的主要部分是兩端涂有活性物質(zhì)的玻璃光纖�；钚晕镔|(zhì)中含有固定在有機(jī)聚合物基質(zhì)上的熒光染料,當(dāng)VOC與熒光染料發(fā)生作用時,染料極性發(fā)生變化,使其熒光發(fā)射光譜發(fā)生位移。用光脈沖照射傳感器時,熒光染料會發(fā)射不同頻率的光,檢測熒光染料發(fā)射的光,可識別VOC。
　　6、高分子氣體傳感器
　　近年來,國外在高分子氣敏材料的研究和開發(fā)上有了很大的進(jìn)展,高分子氣敏材料由于具有易操作性、工藝簡單、常溫選擇性好、價格低廉、易與微結(jié)構(gòu)傳感器和聲表面波器件相結(jié)合等特點(diǎn),在毒性氣體和食品鮮度等方面的檢測具有重要作用。高分子氣體傳感器根據(jù)氣敏特性主要可分為下列幾種：
　�。�1）高分子電阻式氣體傳感器
　　該類傳感器是通過測量高分子氣敏材料的電阻來測量氣體的體積分?jǐn)?shù),目前的材料主要有歐菁聚合物、LB膜、聚毗咯等。其主要優(yōu)點(diǎn)是制作工藝簡單、成本低廉。但這種氣體傳感器要通過電聚合過程來激活,這既耗費(fèi)時間,又會引起各批次產(chǎn)品之間的性能差異。
　　（2）濃差電池式氣體傳感器
　　濃差電池式氣體傳感器的工作原理是：氣敏材料吸收氣體時形成濃差電池,測量輸出的電動勢就可測量氣體體積分?jǐn)?shù),目前主要有聚乙烯醇-磷酸等材料。
　�。�3）面波(SAW)式氣體傳感器SAW氣體傳感器制作在壓電材料的襯底上,一端的表面為輸入傳感器,另一端為輸出傳感器。兩者之間的區(qū)域淀積了能吸附VOC的聚合物膜。被吸附的分子增加了傳感器的質(zhì)量,使得聲波在材料表面上的傳播速度或頻率發(fā)生變化,通過測量聲波的速度或頻率來測量氣體體積分?jǐn)?shù)。主要?dú)饷舨牧嫌芯郛惗∠�、氟聚多元醇�?用來測量苯乙烯和甲苯等有機(jī)蒸汽。其優(yōu)勢在于選擇性高、靈敏度高、在很寬的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定、對濕度響應(yīng)低和良好的可重復(fù)性。SAW傳感器輸出為準(zhǔn)數(shù)字信號,因此可簡便地與微處理器接口。此外,SAW傳感器采用半導(dǎo)體平面工藝,易于將敏感器與相配的電子器件結(jié)合在一起,實(shí)現(xiàn)微型化、集成化,從而降低測量成本。
　�。�4）振子式氣體傳感器
　　石英振子微秤(QCM)由直徑為數(shù)微米的石英振動盤和制作在盤兩邊的電極構(gòu)成。當(dāng)振蕩信號加在器件上時,器件會在它的特征頻率。~30MHz)發(fā)生共振。振動盤上淀積了有機(jī)聚合物,聚合物吸附氣體后,使器件質(zhì)量增加,從而引起石英振子的共振頻率降低,通過測定共振頻率的變化來識別氣體。
　　高分子氣體傳感器,對特定氣體分子的靈敏度高、選擇性好,結(jié)構(gòu)簡單,可在常溫下使用,補(bǔ)充其他氣體傳感器的不足,發(fā)展前景良好。

　　近年來,由于在工業(yè)生產(chǎn)、家庭安全、環(huán)境監(jiān)測和醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)�氣體傳感器的精度、性能、穩(wěn)定性方面的要求越來越高,因此對氣體傳感器的研究和開發(fā)也越來越重要。隨著先進(jìn)科學(xué)技術(shù)的應(yīng)用,氣體傳感器發(fā)展的趨勢是微型化、智能化和多功能化。深入研究和掌握有機(jī)、無機(jī)、生物和各種材料的特性及相互作用,理解各類氣體傳感器的工作原理和作用機(jī)理,正確選擇各類傳感器的敏感材料,靈活運(yùn)用微機(jī)械加工技術(shù)、敏感薄膜形成技術(shù)、微電子技術(shù)、光纖技術(shù)等,使傳感器性能最優(yōu)化是氣體傳感器的發(fā)展方向。
　　1、新氣敏材料與制作工藝的研究開發(fā)
　　對氣體傳感器材料的研究表明,金屬氧化物半導(dǎo)體材料Zn0,SIlo2,Fe203等己趨于成熟化,特別是在C比,C2H5OH,CO等氣體檢測方面�，F(xiàn)在這方面的工作主要有兩個方向：一是利用化學(xué)修飾改性方法,對現(xiàn)有氣體敏感膜材料進(jìn)行摻雜、改性和表面修飾等處理,
　　并對成膜工藝進(jìn)行改進(jìn)和優(yōu)化,提高氣體傳感器的穩(wěn)定性和選擇性；二是研制開發(fā)新的氣體敏感膜材料,如復(fù)合型和混合型半導(dǎo)體氣敏材料、高分子氣敏材料,使得這些新材料對不同氣體具有高靈敏度、高選擇性、高穩(wěn)定性。由于有機(jī)高分子敏感材料具有材料豐富、成本低、制膜工藝簡單、易于與其它技術(shù)兼容、在常溫下工作等優(yōu)點(diǎn),已成為研究的熱點(diǎn)。
　　2、新型氣體傳感器的研制
　　沿用傳統(tǒng)的作用原理和某些新效應(yīng),優(yōu)先使用晶體材料(硅、石英、陶瓷等),采用先進(jìn)的加工技術(shù)和微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),研制新型傳感器及傳感器系統(tǒng),如光波導(dǎo)氣體傳感器、高分子聲表面波和石英諧振式氣體傳感器的開發(fā)與使用,微生物氣體傳感器和仿生氣體傳感器的研究。隨著新材料、新工藝和新技術(shù)的應(yīng)用,氣體傳感器的性能更趨完善,使傳感器的小型化、微型化和多功能化具有長期穩(wěn)定性好、使用方便、價格低廉等優(yōu)點(diǎn)。
　　3、氣體傳感器智能化
　　隨著人們生活水平的不斷提高和對環(huán)保的日益重視,對各種有毒、有害氣體的探測,對大氣污染、工業(yè)廢氣的監(jiān)測以及對食品和居住環(huán)境質(zhì)量的檢測都對氣體傳感器提出了更高的要求。納米、薄膜技術(shù)等新材料研制技術(shù)的成功應(yīng)用為氣體傳感器集成化和智能化提供了很好的前提條件。氣體傳感器將在充分利用微機(jī)械與微電子技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)、信號處理技術(shù)、傳感技術(shù)、故障診斷技術(shù)、智能技術(shù)等多學(xué)科綜合技術(shù)的基礎(chǔ)上得到發(fā)展。研制能夠同時監(jiān)測多種氣體的全自動數(shù)字式的智能氣體傳感器將是該領(lǐng)域的重要研究方向。

　　1、根據(jù)測量對象與測量環(huán)境
　　根據(jù)測量對象與測量環(huán)境確定傳感器的類型。 要進(jìn)行—個具體的測量工作,首先要考慮采用何種原理的傳感器,這需要分析多方面的因素之后才能確定。因?yàn)?即使是測量同一物理量,也有多種原理的傳感器可供選用,哪一種原理的傳感器更為合適,則需要根據(jù)被測量的特點(diǎn)和傳感器的使用條件考慮以下一些具體問題：量程的大��；被測位置對傳感器體積的要求；測量方式為接觸式還是非接觸式；信號的引出方法,有線或是非接觸測量；傳感器的來源,國產(chǎn)還是進(jìn)口,價格能否承受,還是自行研制。在考慮上述問題之后就能確定選用何種類型的傳感器,然后再考慮傳感器的具體性能指標(biāo)。
　　2、靈敏度的選擇
　　通常,在傳感器的線性范圍內(nèi),希望傳感器的靈敏度越高越好。因?yàn)橹挥徐`敏度高時,與被測量變化對應(yīng)的輸出信號的值才比較大,有利于信號處理。但要注意的是,傳感器的靈敏度高,與被測量無關(guān)的外界噪聲也容易混入,也會被放大系統(tǒng)放大,影響測量精度。因此,要求傳感器本身應(yīng)具有較高的信噪比,盡量減少從外界引入的于擾信號。傳感器的靈敏度是有方向性的。當(dāng)被測量是單向量,而且對其方向性要求較高,則應(yīng)選擇其它方向靈敏度小的傳感器；如果被測量是多維向量,則要求傳感器的交叉靈敏度越小越好。
　　3、響應(yīng)特性 （反應(yīng)時間）
　　傳感器的頻率響應(yīng)特性決定了被測量的頻率范圍,必須在允許頻率范圍內(nèi)保持不失真的測量條件,實(shí)際上傳感器的響應(yīng)總有—定延遲,希望延遲時間越短越好。傳感器的頻率響應(yīng)高,可測的信號頻率范圍就寬,而由于受到結(jié)構(gòu)特性的影響,機(jī)械系統(tǒng)的慣性較大,因有頻率低的傳感器可測信號的頻率較低。在動態(tài)測量中,應(yīng)根據(jù)信號的特點(diǎn) (穩(wěn)態(tài)、瞬態(tài)、隨機(jī)等)響應(yīng)特性,以免產(chǎn)生過火的誤差。
　　4、線性范圍
　　傳感器的線形范圍是指輸出與輸入成正比的范圍。以理論上講,在此范圍內(nèi),靈敏度保持定值。傳感器的線性范圍越寬,則其量程越大,并且能保證一定的測量精度。在選擇傳感器時,當(dāng)傳感器的種類確定以后首先要看其量程是否滿足要求。但實(shí)際上,任何傳感器都不能保證絕對的線性,其線性度也是相對的。當(dāng)所要求測量精度比較低時,在一定的范圍內(nèi),可將非線性誤差較小的傳感器近似看作線性的,這會給測量帶來極大的方便,