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電容傳感器有如下一些特點(diǎn)：
①結(jié)構(gòu)簡單；
②動作時需要能量低,由于帶電極板間靜電吸引力很小（約幾個 N）,因此電容傳感器特別適宜用來解決輸入能量低的測量問題；
③動態(tài)特性好,電容傳感器的相對變化量只受線性和其它實(shí)際條件的限制,如果使用高線性電路時,電容變化量可達(dá)100%或更大；
④自然效應(yīng)小；
⑤動態(tài)響應(yīng)快以及能在惡劣的環(huán)境下工作。但由于電容傳感器的初始電容較小,受引線電容、寄生電容的干擾影響較大；另一方面電容傳感器輸出特性為非線性。

電容傳感器可以直接測量的非電量為：直線位移、角位移及介質(zhì)的幾何尺寸（或稱物位）,直線位移及角位移可以是靜態(tài)的,也可以是動態(tài)的,例如是直線振動及角振動。用于上述三類非電參數(shù)變換測量的變換器一般說來原理比較簡單,無需再作任何預(yù)變換。
用來測量金屬表面狀況、距離尺寸、振幅等量的傳感器,往往采用單極式變間隙電容傳感器,使用時常將被測物作為傳感器的一個極板,而另一個電極板在傳感器內(nèi)。近年來已采用這種方法測量油膜等物質(zhì)的厚度。這類傳感器的動態(tài)范圍均比較小,約為十分之幾毫米左右,而靈敏度則在很大程度上取決于選材、結(jié)構(gòu)的合理性及寄生參數(shù)影響的消除。精度達(dá)到0.1μm,分辨力為0.025μm。可以實(shí)現(xiàn)非接觸測量,它加給被測對象的力極小,可忽略不計(jì)。
測物位的傳感器多數(shù)是采用電容式傳感器作轉(zhuǎn)換元件。電容式傳感器還可用于測量原油中含水量、糧食中的含水量等。
當(dāng)電容傳感器用于測量其他物理量時,必須進(jìn)行預(yù)變換,將被測參數(shù)轉(zhuǎn)換成d,S或ε的變化。例如在測量壓力時,要用彈性元件先將壓力轉(zhuǎn)換成d的變化。

為了提高電容傳感器的靈敏度、減小界干擾、寄生電容及漏電的影響和減小線性誤差,可采用以下措施：
①由于當(dāng)d減小時可使電容量加大從而使靈敏度增加,但d過小容易引起電容器擊穿,一般可以在極板間放置云母片來改善；
②提高電源頻率；
③用雙層屏蔽線,將電路同電容傳感器裝在一個殼體中,可以減小寄生電容及外界干擾的影響。