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加工精度的不斷提高_(dá),反映了加工工件時(shí)材料的分割水平不斷由宏觀進(jìn)人微觀世界的發(fā)展趨勢。隨著時(shí)間的進(jìn)展,原來認(rèn)為是難以達(dá)到的加工精度會(huì)變得相對容易。因此,普通加工、精密加工和超精密加工只是一個(gè)相對概念,其間的界限隨著時(shí)間的推移不斷變化。精密切削與超精密加工的典型代表是金剛石切削。

以金剛石切削為例。其刀刃口圓弧半徑一直在向更小的方向發(fā)展。因?yàn)樗�的大小直接影響到被加工表面的粗糙�?與光學(xué)鏡面的反射率直接有關(guān),對儀器設(shè)備的反射率要求越來越高_(dá)。如激光陀螺反射鏡的反射率已提出要達(dá)到99.99％,這就必然要求金剛石刀具更加鋒利。為了進(jìn)行切極薄試驗(yàn),目標(biāo)是達(dá)到切屑厚度nm,其刀具刃口圓弧半徑應(yīng)趨近2.4nm。為了達(dá)到這個(gè)高_(dá)度,促使金剛石研磨機(jī)改變了傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。其中主軸軸承采用了空氣軸承作為支承,研磨盤的端面跳動(dòng)可在機(jī)床上自行修正,使其端面跳動(dòng)控制在0.5μm以下。

    精密零件加工的刀具方面,采用金剛石砂輪,控制背吃刀量和進(jìn)給量,在超精密磨床上,可以進(jìn)行延性方式磨削,即納米磨削。即使是玻璃的表面也可以獲得光學(xué)鏡面。2精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢從長遠(yuǎn)發(fā)展的觀點(diǎn)來看,制造技術(shù)是當(dāng)前世界各國發(fā)展國民經(jīng)濟(jì)的主攻方向和戰(zhàn)略決策,是一個(gè)國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要手段之一,同時(shí)又是一個(gè)國家獨(dú)立自主、繁榮昌盛、經(jīng)濟(jì)上持續(xù)穩(wěn)定發(fā)展、科技上保持領(lǐng)先的長遠(yuǎn)大計(jì)。深圳精密加工和超精密加工技術(shù)提出了更高_(dá)的要求。從大到天體望遠(yuǎn)鏡的透鏡,小到大規(guī)模集成電路線寬μm要求的微細(xì)工程和微機(jī)械的微納米尺寸零件,不論體積大小,其最_高_(dá)尺寸精度都趨近于納米;零件形狀也日益復(fù)雜化,各種非球面已是當(dāng)前非常典型的幾何形狀。微機(jī)械技術(shù)為超精密制造技術(shù)引來一種嶄新的態(tài)勢?它的微細(xì)程度使傳統(tǒng)的制造技術(shù)面臨一種新的挑戰(zhàn),促進(jìn)了各種產(chǎn)品技術(shù)性能的提高_(dá),發(fā)展過程呈現(xiàn)出螺旋式循環(huán)發(fā)展,直接對科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步和人類文明作出貢獻(xiàn)。對產(chǎn)品高_(dá)質(zhì)量、小型化、高_(dá)可靠性和高_(dá)性能的追求,使超精密加工技術(shù)得以迅速發(fā)展,現(xiàn)已成為現(xiàn)代制造工業(yè)的重要組成部分.