據(jù)國務(wù)院國資委網(wǎng)站5月20日消息,近日,中國電子旗下中國長城鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院和河南通用智能裝備有限公司歷時1年,聯(lián)合攻關(guān),研制成功我國首臺半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機,填補國內(nèi)空白。該設(shè)備在關(guān)鍵性能參數(shù)上處于國際領(lǐng)先水平,標志著我國半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割技術(shù)取得實質(zhì)性重大突破,對進一步提高我國智能裝備制造能力具有里程碑式的意義。

　　高端智能裝備是國之重器,是制造業(yè)的基石,尤其是半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)高端智能裝備,在國民經(jīng)濟發(fā)展中具有舉足輕重的作用。晶圓切割是半導(dǎo)體封測工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序。據(jù)悉,與傳統(tǒng)的切割方式相比,激光切割屬于非接觸式加工,可以避免對晶體硅表面造成損傷,并且具有加工精度高、加工效率高等特點,可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。

　　半導(dǎo)體激光隱形晶圓切割機通過采用特殊材料、特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計、特殊運動平臺,可以實現(xiàn)加工平臺在高速運動時保持高穩(wěn)定性、高精度,運動速度可達 500mm/s,效率遠高于國外設(shè)備。

　　在光學(xué)方面,根據(jù)單晶硅的光譜特性,結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平,采用了合適的波長、總功率、脈寬和重頻的激光器,最終實現(xiàn)了隱形切割。

　　在影像方面,采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機,配以不同功效的鏡頭,實現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整；同時還搭載了同軸影像系統(tǒng),可以確保切割中效果的實時確認和優(yōu)化,實現(xiàn)最佳切割效果。

　　中國長城在科研創(chuàng)新中始終聚焦自主安全和核心技術(shù)。該裝備的成功研制是科研人員義無反顧扛起央企主責,加速解決“卡脖子”難題,爭做新時代圓夢人的有力體現(xiàn),也是央企與民企共扛使命、資源互補、集智創(chuàng)新,共同解決國家重大智能裝備制造瓶頸問題的成功典范。

　　據(jù)悉,鄭州軌道交通信息技術(shù)研究院成立于2017年,近些年來,圍繞自主安全工業(yè)控制器、高端裝備制造和新一代信息技術(shù)突破開展科研創(chuàng)新、技術(shù)攻關(guān),被中國長城旗下公司收購后,科研創(chuàng)新、事業(yè)發(fā)展進入新一輪加速發(fā)展期。