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s系列為真正意義上的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計探針臺，讓用戶可完全圍繞實(shí)際應(yīng)用，選擇最適合的功能配置，確保最佳成本解決方案的同時滿足用戶將來的升級需求。
s系列可定制的模塊為：載物臺及其移動基座模塊、探針座放置平臺移動模塊和顯微鏡及其移動基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時，還可根據(jù)自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統(tǒng)、半自動控制系統(tǒng)、全自動控制系統(tǒng)、高溫測試系等，滿足更多的應(yīng)用需求。
s系列還為用戶提供了一個高剛性和穩(wěn)定性的測試系統(tǒng)。載物臺移動基座和探針臺底座一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計，顯著地提高了載物臺的結(jié)構(gòu)剛性和穩(wěn)定性。顯微鏡支撐為龍門結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于高放大倍率的光學(xué)系統(tǒng)，保證光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。探針座放置平臺采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計，保證平臺板整體的垂直應(yīng)力形變在5μm/10n以內(nèi)，擁有極高的穩(wěn)定性以滿足高精度探針座的定位要求。
| 技術(shù)指標(biāo) |
| 載物臺(常規(guī)晶圓載物臺） |
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| 尺寸 |
6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
| 材質(zhì) |
不銹鋼 |
| 平整度 |
≤±2.5μm |
| 真空區(qū)域* |
0，2"，4"，6"環(huán)形吸附** |
| 真空控制 |
手動控制，獨(dú)立真空區(qū)域 |
| 真空驅(qū)動方式 |
真空泵 |
| 載物臺電性能 |
載物臺信號導(dǎo)通，可選擇接地或接信號 |
| *根據(jù)載物臺尺寸有所不同，如載物臺尺寸為12"，則真空吸附區(qū)域為0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除環(huán)形吸附外，還可選微孔吸附式載物臺，以適用于厚度在50μm或以內(nèi)的晶圓。 |
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| 載物臺移動基座 |
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| x-y軸行程范圍* |
6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程 |
| 精度 |
1μm |
| r軸粗調(diào)角度范圍 |
360° |
| r軸細(xì)調(diào)角度范圍 |
±9° |
| 微調(diào)精度 |
0.0001°/deg |
| z軸細(xì)調(diào)行程范圍 |
13mm |
| 細(xì)調(diào)精度 |
1μm |
| z軸快升行程 |
0~6mm, 可調(diào) |
| z軸往復(fù)精度 |
<1μm |
| 載物臺快速拖出行程 |
100mm |
| *根據(jù)載物臺尺寸不同，行程有所不同，如載物臺為12"，則x-y移動行程為12"*12"。 |
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| 探針座放置平臺 |
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| 材質(zhì) |
鋼，表面沉鎳處理 |
| 平臺板尺寸* |
可放置8個cm50或4個rf50探針座 |
| 平臺板至載物臺高度 |
1.496”(38mm) |
| 探針座兼容性 |
可兼容磁力或真空吸附底座的探針座 |
| z軸細(xì)調(diào)行程范圍 |
45mm |
| z軸快升行程 |
350μm |
| z軸往復(fù)精度 |
<1μm |
| *此處為6"探針臺可放置的探針座數(shù)量，更大尺寸探針臺詳詢客服人員。
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| 顯微鏡移動基座 |
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| x-y軸行程范圍 |
2"*2"(50mm* 50mm) |
| x-y軸精度 |
1μm |
| 調(diào)焦行程 |
2"(50mm) |
| 精度 |
1μm |
| z軸粗調(diào)行程 |
100mm |
| 氣動升降行程 |
40mm |
| 聯(lián)系人 | 需求數(shù)量 | 時間 | 描述 |
|---|---|---|---|
| 暫無產(chǎn)品詢價記錄 | |||
| 采購商 | 成交單價（元） | 數(shù)量 | 成交時間 |
|---|---|---|---|
| 暫無購買記錄 | |||
地區(qū)：滄州
主營產(chǎn)品：機(jī)床維修,鑄件,工量具地區(qū)：汕頭
主營產(chǎn)品：物流公司,貨運(yùn)站,國內(nèi)陸運(yùn)地區(qū)：衡水
主營產(chǎn)品：河北變形縫,河南變形縫,山東變形縫地區(qū)：武漢
主營產(chǎn)品：武昌公司注冊,武昌注冊公司,武昌代理記賬
湘公網(wǎng)安備 43052302000106號