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隨著近些年來半導(dǎo)體行業(yè)的飛速發(fā)展,對(duì)于微細(xì)加工技術(shù)的要求也越來越高。微電子生產(chǎn)設(shè)備,光學(xué)儀器等高靈敏度設(shè)備,針對(duì)其工作環(huán)境（如振動(dòng),噪聲,電磁以及溫濕度）,尤其是振動(dòng)條件提出了更苛刻的要求。針對(duì)此類振動(dòng)幅值小,精度要求高,工作頻率低的使用環(huán)境特征,常規(guī)的通用數(shù)據(jù)采集設(shè)備無法滿足其測(cè)量評(píng)估要求。

微振動(dòng)測(cè)試模擬

針對(duì)微振動(dòng)測(cè)試模擬需求,瑞鴻科技提供完整的微振動(dòng)測(cè)試與模擬的交鑰匙解決方案,已有多家客戶正在使用。

1.        微振動(dòng)模擬發(fā)生器

2.        微振動(dòng)配套環(huán)境實(shí)時(shí)

3.        可以模擬0.1mg正弦掃頻

4.        測(cè)試可以達(dá)到ug級(jí)微振動(dòng)測(cè)試

整個(gè)系統(tǒng)建立在隔振環(huán)境好的實(shí)驗(yàn)室內(nèi),由低噪聲的微振動(dòng)控制器、低噪聲微振動(dòng)試驗(yàn)系統(tǒng)、低噪聲的傳感器以及電腦組成。微振動(dòng)發(fā)生試驗(yàn)系統(tǒng)包括低噪聲低失真的功率放大器、微振動(dòng)發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)以相關(guān)的輔助設(shè)施實(shí)現(xiàn)。

為了整個(gè)系統(tǒng)的性能要求,采取了微振動(dòng)采集儀低噪聲的設(shè)計(jì)和生產(chǎn),同時(shí)選用低噪聲的微振動(dòng)拾取器,配合低噪聲算法軟件,實(shí)現(xiàn)微振動(dòng)的測(cè)試,整個(gè)系統(tǒng)達(dá)到0.01mg的測(cè)試精度。

優(yōu)勢(shì)

（1）          整個(gè)系統(tǒng)低噪聲,動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,失真度低,低噪聲

（2）          公司整個(gè)針對(duì)微振動(dòng)系統(tǒng)工程經(jīng)驗(yàn)豐富,技術(shù)成熟

（3）          上�？梢员镜丶夹g(shù)支持

（4）          有成熟案例

主要技術(shù)參數(shù)和指標(biāo)

（1）          主要頻率范圍5hz～100hz。

（2）          振動(dòng)加速度范圍1mg～0.05g(可視實(shí)際環(huán)境工況而定)

（3）          控制精度mg級(jí)

（4）          振動(dòng)方式：正弦、隨機(jī)、沖擊

（5）          負(fù)載重量：大于200kg

系統(tǒng)組成（非標(biāo)定制）

微振動(dòng)發(fā)生系統(tǒng)：包含低噪聲低失真功率放大器、微振動(dòng)發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)。功率放大器采用風(fēng)冷,為低噪聲低失真的輸出功率為15kva。放大器采用新技術(shù)的mosfet功率晶體管,數(shù)字脈沖模式工作方式。不對(duì)稱輸入,具有高功效的大的帶寬,針對(duì)于微振動(dòng)試驗(yàn)的特殊要求,專門對(duì)攻放進(jìn)行低噪聲的優(yōu)化設(shè)計(jì),使攻放的信噪比優(yōu)于80db,失真度小于0.7％,針對(duì)于微振動(dòng)的低勵(lì)磁模式控制。微振動(dòng)發(fā)生器裝有自動(dòng)氣囊載荷補(bǔ)償裝置,在大負(fù)荷下能實(shí)現(xiàn)振幅。針對(duì)微振動(dòng)微笑振動(dòng)控制的優(yōu)化設(shè)計(jì),使微振動(dòng)發(fā)生器及時(shí)在微小振動(dòng)情況下也能做到高響應(yīng)精度發(fā)生,微振動(dòng)發(fā)生器和放大器之間的連接電纜長(zhǎng)5米。

微振動(dòng)控制系統(tǒng)：振動(dòng)控制設(shè)備的插件包括標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號(hào)處理面板,模擬-數(shù)字和數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換軟件,處理所有振動(dòng)和沖擊控制模式的標(biāo)準(zhǔn)軟件。針對(duì)微振動(dòng)專門優(yōu)化硬件和軟件,實(shí)現(xiàn)低噪聲設(shè)計(jì)控制。

微振動(dòng)采集分析系統(tǒng)：為了整個(gè)系統(tǒng)的性能要求,采取了微振動(dòng)采集儀低噪聲的設(shè)計(jì)和生產(chǎn),同時(shí)選用低噪聲的微振動(dòng)拾取器,配合低噪聲算法軟件,實(shí)現(xiàn)微振動(dòng)的測(cè)試,整個(gè)系統(tǒng)達(dá)到0.01mg的測(cè)試精度。

加速度傳感器與附件（選件）：針對(duì)微振動(dòng)試驗(yàn)要求,選用低噪聲的傳感器,以及放大器來實(shí)現(xiàn)微振動(dòng)的試驗(yàn)。