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 上海旦順介入導(dǎo)管專用百級無塵烘箱

一．用途:

無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸  鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、lcd、cmos、is、醫(yī)  藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

二．特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，sus304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口h.e.p.a filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99％，class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)

4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能p.i.d溫控系統(tǒng)，得到最佳溫度控制精度。

三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

1.無塵等級：class 100;

2.溫度范圍： +60～ +250℃；

3.升溫速度：常溫～+200℃,升溫速度>6℃/min  ,

4.溫度均勻度：±2.5℃;（空載）

5.溫度精確度：±1℃（空載）

6.設(shè)備型號：

 型號

 工作室尺寸（mm）

 外形尺寸（mm）

 加熱功率

 層板

 col-2d(雙腔）

 w600×h500×d600

 w1655×h1850×d1250

 14kw

 共2片

7.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，sus304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；

8.內(nèi)膽材料：采用進(jìn)口sus304#日制鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿  性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生

particle；

9.中桶材料：采用進(jìn)口sus304#日制鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿  性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

10.保溫材料：采用正廠中央玻璃纖維公司出品，100k級高密度高保溫板制造。

11.電 熱 器：采進(jìn)口覆套式電熱器 (sheathed heater)無塵化電熱發(fā)生器。

12.溫 控 器：采用日本omron e5a型溫度控制器，控制器led數(shù)字顯示及設(shè)定、pid自動演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3％fs。

13.完善的安  全保護措施：漏電保護/過熱保護報警/電機保護報警/ 門鎖工作時門自動鎖/異常顯示(三色警示燈)

無塵烘烤箱熱線：400-8238860 ；聯(lián)系人：蔣鑫,15221744475 qq:147224984

參考網(wǎng)站：http://www.done- .